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高速高精度基板
半田バンプ検査装置の開発
バンプサーフ
～高速高精度基板
半田バンプ検査装置～
サブストレート基板上の半田バンプのコプラナリティーを２秒以内で高精度測定
従来の半田バンプコプラナリティー測定法と全く異なる方式（シャドーフィギュア）を採用して超高速且つ高精度の検査を実現しました。またバンプ先端部の断面形状を精細に観察出来るのでバンプ先端に付着した異物の検査も可能で非常にシンプルな構造で低価格な装置です。
また、従来の装置に比べ、４倍以上の高速で、再現精度のみならず、実精度が大変高いのが特徴です。
ソフトワークス(株)
〒433-8119 浜松市中区 高丘北1-40-15
http://www.softworks.co.jp/TEL:053-439-8960
FAX:053-439-5561
代表者:塩見 俊夫
測定対象基板サイズ
45㎜角以内（変更可能）
